- 技术文章
电子级超纯水设备技术工艺解析
2020-08-11 11:18:28 来源:网络
电子行业生产过程对生产用水使用要求非常高,集成电路的集成度越高,对水质要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。
电子级超纯水设备工艺流程
1、采用离子交换方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点。
2、采用两级反渗透方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。
3、采用高效反渗透加EDI方式,其流程如下(*新工艺性价比*高):自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。
电子级超纯水处理系统特点
1.占地面积小,水利用率高,不会消耗大量酸碱,除盐率可达99%以上。
2.电子级超纯水处理系统缺点是投资相对较大。
3.电子级超纯水处理系统将叠片式过滤器、超滤膜作及保安过滤器作为预处理,能去除水中悬浮物、胶体、余氯、泥沙等杂质,使处理后的水符合反渗透进水要求,在经过反渗透膜除去溶解性盐类物质、细菌等,然后使用连续电除盐装置进一步脱盐处理,使产水电阻率达到15MΩ.cm以上,再采用电子级纯水树脂抛光混床除盐,使产水电阻率达到18.2MΩ.cm。使用TOC降解器和精密过滤器进行后处理,防止被细菌二次污染。
4.重庆力德电子级超纯水系统中主要元件如EDI膜块等均选用国际*品牌,全部按照反渗透膜设计以及EDI的进水要求进行设备选型,保证系统安全运行。
电子级超纯水设备的场合应用
·电子级半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路;
·电子级超纯材料和超纯化学试剂;
· 实验室和中试车间 ;
· 汽车、家电表面抛光处理;
· 其他高科技精微产品。
上一篇:中水回用水处理的工艺下一篇:余氯电极新发布
-
产品搜索
-
公司相册
-
日本HONDA
65张图片 -
德国NIVUS流量计
14张图片 -
德国BBE水质在线分析仪
41张图片 -
台湾鲁斯LIC
47张图片 -
德国HEYL水质在线分析仪
77张图片
-