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    电子级超纯水设备技术工艺解析

    2020-08-11 11:18:28  来源:网络

         
    电子行业生产过程对生产用水使用要求非常高,集成电路的集成度越高,对水质要求也越高。目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业标准,分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、 10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以区分不同水质。

    电子、半导体、液晶显示、光伏工业生产在制作过程中,往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话,会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。在光伏行业电子管生产中,如其中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,在显像管和阴极射线管生产中,其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质,如其配制纯水中含铜在8ppb以上,就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品
     

    电子级超纯水设备工艺流程
    1、采用离子交换方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点。
    2、采用两级反渗透方式,其流程如下:自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→精密过滤器→一级反渗透主机→PH调节→混合器→二级反渗透主机(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点。
    3、采用高效反渗透加EDI方式,其流程如下(*新工艺性价比*高):自来水→电动阀→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→中间水箱→低压泵→PH值调节系统→高效混合器→精密过滤器→高效反渗透→中间水箱→EDI水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点。
    电子级超纯水处理系统特点
    1.占地面积小,水利用率高,不会消耗大量酸碱,除盐率可达99%以上。
      2.电子级超纯水处理系统缺点是投资相对较大。
      3.电子级超纯水处理系统将叠片式过滤器、超滤膜作及保安过滤器作为预处理,能去除水中悬浮物、胶体、余氯、泥沙等杂质,使处理后的水符合反渗透进水要求,在经过反渗透膜除去溶解性盐类物质、细菌等,然后使用连续电除盐装置进一步脱盐处理,使产水电阻率达到15MΩ.cm以上,再采用电子级纯水树脂抛光混床除盐,使产水电阻率达到18.2MΩ.cm。使用TOC降解器和精密过滤器进行后处理,防止被细菌二次污染。
      4.重庆力德电子级超纯水系统中主要元件如EDI膜块等均选用国际*品牌,全部按照反渗透膜设计以及EDI的进水要求进行设备选型,保证系统安全运行。
    电子级超纯水设备的场合应用  
    ·电子级半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路; 
    ·电子级超纯材料和超纯化学试剂; 
    · 实验室和中试车间 ;
    · 汽车、家电表面抛光处理; 
    · 其他高科技精微产品。


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